PVT-MF-46F

碳化硅感應(yīng)生長(zhǎng)爐

適用于6/8英寸導(dǎo)電和高純半絕緣型SiC晶體生長(zhǎng)，創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可提供高純材料生長(zhǎng)能力，擁有高精度的控溫、控壓能力，工藝性能優(yōu)良，設(shè)備一致性好，具有豐富的量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。

聯(lián)系咨詢

智能啟動(dòng) 適用廣泛

產(chǎn)品特點(diǎn)

智能啟動(dòng)

一鍵智能啟動(dòng)，減少人工干預(yù)，利于規(guī)模化生產(chǎn)。

適用廣泛

適用于6、8英寸，導(dǎo)電/高純半絕緣型SiC晶體生長(zhǎng)。

專業(yè)設(shè)計(jì)

專業(yè)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供高純材料生長(zhǎng)能力。

適于長(zhǎng)時(shí)高溫低壓

適于長(zhǎng)時(shí)/高溫/低壓工藝，拓寬高質(zhì)量/大規(guī)模晶體生長(zhǎng)窗口。

多輔助設(shè)備支持

包含多款輔助設(shè)備，大產(chǎn)能原料合成爐、晶錠退火爐及其他。

溫場(chǎng)均勻

通過(guò)實(shí)驗(yàn)不斷優(yōu)化熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得溫度梯度更加均勻，減少傳統(tǒng)熱場(chǎng)局部高溫、碳化等問(wèn)題。

低功耗

整體式線圈設(shè)計(jì)降低噪音，降低功耗。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	PVT-MF-46F
尺寸：整機(jī)長(zhǎng) x 寬 x 高	2100x1150x3500mm
加熱方式	感應(yīng)加熱
可選配置	坩堝旋轉(zhuǎn)、雙測(cè)溫點(diǎn)